半导体器件物理实验室作为微电子、电子信息等专业的核心实践教学基地，主要承担《半导体器件物理》等课程的实践教学任务。其建设目标是通过器件仿真、工艺模拟与实测验证的结合训练，帮助学生深度掌握半导体器件的物理原理、工艺实现机制及性能测试方法，全面提升学生的器件仿真设计能力、工艺流程分析能力与实测数据处理能力，为后续集成电路设计、半导体器件研发等专业方向积累核心实践经验。

在半导体器件物理实验室中，学生将系统开展半导体器件与工艺的“仿真+实测”综合实践，通过“理论解析 + 仿真实操 + 实测验证”的教学模式，深入理解器件结构、工艺参数与性能指标的关联逻辑，培养独立完成器件仿真设计、工艺流程模拟、实测数据比对与分析的能力。
   实验项目：
     实验一 pn结器件仿真实验

     实验二 肖特基二极管器件仿真实验

     实验三 SiC Diode器件仿真实验

     实验四 BJT器件仿真实验

     实验五 半导体氧化工艺仿真实验

     实验六 半导体扩散工艺仿真实验

     实验七 半导体刻蚀工艺仿真实验

     实验八 MOS工艺及器件仿真实验

   主要实验仪器设备：
     设备一 微型探针台及课程套件
     设备二 集成电路测量夹具盒
     设备三 线上线下融合实验平台
     设备四 集成电路应用测试平台